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獨特的技術(shù)將石墨烯集成到室溫硅上制造智能醫(yī)用傳感器

來源:上海自動化儀表有限公司作者:發(fā)表時間:2018-03-03 10:24:28

    上海自動化儀表有限公司的材料研究人員已經(jīng)開發(fā)出一種新技術(shù),可以利用納秒脈沖激光退火,將石墨烯、氧化石墨烯(氧化石墨烯)和還原氧化石墨烯(rGO)集成到室溫下的硅基板上。這一進展提高了制造新型電子設(shè)備的可能性,研究人員已經(jīng)在計劃使用這項技術(shù)來制造智能生物醫(yī)學傳感器。

    上自儀研究人員從硅襯底開始,再加上一層單晶氮化鈦,這是利用領(lǐng)域匹配的外延來確保氮化鈦的晶體結(jié)構(gòu)與硅的結(jié)構(gòu)相一致。接下來,他們在氮化鈦上放置一層銅碳(cul -2.0原子百分比C)合金,再一次使用領(lǐng)域匹配外延。最后,他們用納秒激光脈沖將合金表面熔化,將碳吸附到表面。
    如果這一過程是在真空中進行的,那么表面上的碳就會以石墨烯的形式出現(xiàn),或者如果是在氧氣中完成的,它就會形成。如果在潮濕的空氣中,然后是真空,它就形成了rGO。在這三種情況下,碳的晶體結(jié)構(gòu)與基礎(chǔ)銅碳合金相結(jié)合。
    石墨烯是一種極好的導體,但它不能用作半導體。然而,rGO是一種半導體材料,可用于制造集成智能傳感器和光電器件等電子設(shè)備。該論文于9月9日發(fā)表在《應(yīng)用物理學》雜志上,該論文是“在空氣中的室溫下,新型激光處理還原氧化石墨烯薄片的集成”。
    氧化石墨烯(rGO)的物理性質(zhì)主要取決于sp2與sp3雜化碳原子的比值,不同官能團的存在,以及底物的特性。這一研究首次表明,采用脈沖激光沉積后的激光退火后,采用脈沖激光沉積法,成功地將二維rGO的晶圓片規(guī)模集成。XRD、SEM和Raman光譜學測量表明,大區(qū)域rGO的存在具有Raman活性振動模式:D、G和2D。高分辨率SEM描述了納米二次激光退火后形成的z1 -細化碳的形貌和形成。rGO薄膜的溫度相關(guān)的電阻數(shù)據(jù)遵循Efros-Shklovoskii變量跳躍(ES-VRH)模型在低溫區(qū)域和Arrhenius傳導在高溫狀態(tài)下。光致發(fā)光(PL)光譜也揭示了那么激烈和更廣泛的藍色熒光光譜,大小的微型sp2域π電子的附近,這有利于VRH傳輸現(xiàn)象。利用激光退火技術(shù)對rGO進行晶圓規(guī)模集成,將對多功能集成電子器件有一定的應(yīng)用價值,為進一步深入研究這些功能化的二維材料開辟了新的前沿。